技術摘要
本發明所揭EIS離子感測器之新型量測電路,其係經適當線性化步驟,可達到十分滿意之正比線性關係。據此不僅可改善高階LCR Meter之缺點,有效降低製造成本,具有高準確度,並且方便攜帶。
現有技術描述、問題及其缺陷
EIS(Electrolyte insulator semiconductor)離子感測主要為量測液體中之氫離子濃度,氫離子濃度則影響水的酸鹼值。因此,當量測氫離子濃度時,也相對在量測溶液之pH值。而檢測pH值應用於許多地方,無論在化學、化工許多之化學反應裡,或者農業方面對於土壤之量測,到醫學中對於病情之判斷,量測血液、唾液、細胞等等…。換言之,pH值之量測對於生活係有著不可忽視之影響,許多科學研究與工作都需要pH值量測才能完成。
1970年由P.Bergveld以SiO2做為閘極之材料,製作出離子感測場效電晶體(Ion Sensitive Field Effect Transistor,ISFET) (如第一圖),ISFET與MOSFET最主要的差異在於ISFET將MOSFET中之金屬層除去,將SiO2所製成的絕緣薄膜作為閘極感測層,當元件放置在不同pH值之電解液中,因不同氫濃度而通過元件之電流也不同,閘極感測層之介面電位也隨之變化,產生不同的通道電流,進而量測出離子濃度之變化,而P.Bergveld此研究,大大改變了原本之MOSFET,至今已有許許多多的研究,例如改良EIS 感測器的製程與材料等,材料方面有用NfO2/Gd2O3-NCs/SiO2/Si所製成EIS感測器等研究。
而目前習用EIS 感測器之量測大部分還是透過高階LCR阻抗分析儀做電容值量測動作,由於EIS感測器之電容為nF級,所以需相當精準之量測設備,而LCR阻抗分析儀係具有體積龐大、價錢昂貴並且攜帶不便等缺點。
本發明之主要目的係在於提供一種EIS離子感測器之新型量測電路,用以使EIS 感測器之量測方式能為簡易、準確,並且降低製造成本。
產業應用性
可與廠商共同配合開發出新一代可攜式EIS離子感測器,提供未來離子感測器更佳之效能。
本技術發明之目的及達成功效
本發明所揭EIS離子感測器之新型量測電路,其係簡化繁雜的計算過程、準確度不變,體積更小並且成本相當低。
圖示一

圖示二

圖示三、四

圖示五
